本成果將壓電材料與高 Q 值石英音叉諧振器復合， 設計了一種高精度高電壓 傳感器， 其中壓電材料為一次敏感元件、石英諧振器為二次諧振敏感元件。設計 高傳遞效率彈性力傳遞結構， 將壓電材料在電壓作用下產(chǎn)生的電致伸縮力傳遞到 石英音叉諧振器上， 實(shí)現電壓-力-頻率轉換。傳感器具有高安全性、高輸入阻抗、 高精度、高穩定、寬溫度工作范圍、可直接輸出數字頻率信號等優(yōu)點(diǎn)。
技術(shù)指標：
(1)量程 0~12kV；(2)線(xiàn)性度優(yōu)于 0.1%；(3)測量精度優(yōu)于 0.08%；
(4)頻率響應＞100Hz；(5)工作溫度范圍-20~60℃。
創(chuàng ) 新 點(diǎn)：
(1)高電壓差分輸入結構及雙諧振器差分敏感結構設計， 對消熱應力影響， 保證寬溫度范圍內高穩定性；
(2)諧振式敏感結構，可選擇數字信號輸出或模擬電壓輸出，便于信號傳 輸和檢測；
(3)通過(guò)機械耦合結構實(shí)現高壓側和弱電側的有效隔離，無(wú)需衰減，安全 性高。
