本發(fā)明涉及圖像采集技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種圖像自動(dòng)對焦方法和設備。所述方法包括:獲得第一圖像,根據所述第一圖像獲得第一目標圖像;根據所述第一目標圖像獲得第一顯著(zhù)區域圖像;獲得所述第一顯著(zhù)區域圖像的最小外接矩形區域;將所述最小外接矩形區域確定為對焦窗口區域,其中,所述對焦窗口區域中包括第二圖像;根據所述第二圖像獲得第二目標圖像,根據像素灰度值和像素灰度平均值獲得所述第二目標圖像的對焦評價(jià)函數的值;根據所述對焦評價(jià)函數的極值獲得第三目標圖像。通過(guò)上述技術(shù)方案,解決了現有圖像對焦技術(shù)掃描采集時(shí)間長(cháng),對焦靈敏度低的技術(shù)問(wèn)題,具有使SEM快速、精密對焦的技術(shù)效果。
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發(fā)明專(zhuān)利
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專(zhuān)利名稱(chēng)：一種圖像自動(dòng)對焦方法和設備專(zhuān)利類(lèi)型：發(fā)明專(zhuān)利專(zhuān)利號：CN201710307961.0發(fā)布日期：2025-12-17授權公告日：
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