本實(shí)用新型提供一種基于MEMS的多固定相微型填充柱結構,基于MEMS的多固定相微型填充柱結構包括:襯底,襯底的表面形成有沿襯底的表面延伸的微溝道,微溝道的一端為入口端,另一端為出口端;微阻擋柱組件,位于微溝道內,且臨近微溝道的出口端;至少一個(gè)微篩選柱組件,位于微溝道內,且位于微阻擋柱組件與微溝道的入口端之間。本實(shí)用新型的基于MEMS的多固定相微型填充柱結構通過(guò)在微溝道內設置微阻擋柱組件及微篩選柱組件,可以實(shí)現固定相自主分段填充,最終實(shí)現多種類(lèi)的混合氣體的一次性分離,擴展了色譜柱的使用范圍,實(shí)現了微型填充柱結構的多功能化。
院屬單位：中國科學(xué)院上海微系統與信息技術(shù)研究所
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